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Meiden純臭氧發生器

北京同林超純臭氧設備服務商

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薄膜上常溫成膜方案

高密封性應用案例

薄膜上常溫成膜方案(圖1)

 

效果

通過OER工藝常溫生成OH活性基，沒有熱或物理損傷

不需要真空排氣，大幅度縮短成膜時間

利用專用噴頭均勻噴射氣體，上游和下游之間沒有分布差異

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